Fraunhofer Dresden
Kurzporträt
Das Fraunhofer IPMS steht für angewandte Forschung und Entwicklung auf internationalem Spitzenniveau in den Bereichen Photonische Mikrosysteme, Mikrosystemtechnologien, Nanoelektronische Technologien und Drahtlose Mikrosysteme. In allen großen Märkten – wie Informations- und Kommunikationstechnologien, Konsumgüter, Fahrzeugtechnik, Halbleiter, Mess- und Medizintechnik – finden sich innovative Prozesse und Produkte, die unsere Technologien nutzen.
Der Hauptsitz befindet sich auf der Maria-Reiche-Straße 2 in Dresden-Klotzsche. Auf dem Gelände befindet sich ein 1500 m² großer MOEMS/MEMS-Reinraum (Klasse 4 nach ISO 14644-1), der für die Technologieentwicklung bis hin zur Pilotfertigung innovativer Mikrosysteme auf 200 mm genutzt werden kann. Das Leistungsangebot umfasst die Waferprozessierung, Charakterisierung & Test, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie die Organisation von externen Dienst- und Zulieferleistungen.
Der Bereich »Center Nanoelectronic Technologies« verfügt über eine eigene Reinraum-Infrastruktur für die Prozess- und Materialentwicklung auf 300 mm Wafer mit der Außenstelle "An der Bartlake 5" in unmittelbarer Nähe zum Chipproduzenten Globalfoundries. Zur Bearbeitung der Kundenaufträge stehen auf 4000 m² Reinraumfläche der Klasse 6 und 3 (nach ISO 14644-1) sowie Laborflächen für über 60 Prozessierungs- und Analytiktools zur Verfügung. Der Anlagenpark umfasst unter anderem Abscheide- und Ätzanlagen sowie Inspektions- und Analysegeräte zum Bestimmen von Defekten und dem Messen von Schichteigenschaften.
Am Standort Cottbus arbeiten wir im Institutsteil »Integrated Silicon Systems« sowohl an monolithisch integrierten Aktor- und Sensorsystemen als auch an Terahertz-Mikromodulen und -Applikationen.
Im gemeinsam mit Fraunhofer IOF und IZI in Erfurt betriebenen Fraunhofer-Zentrum für »Mikroelektronische und Optische Systeme für die Biomedizin« liegt der Fokus auf neuartigen Systemen für Anwendungen in der Biomedizin.
Um den Erwartungen unserer Kunden zu genügen, ist unser Haus für Forschung, Entwicklung und Fertigung, den entsprechenden Halbleiter- und Mikrosystemprozessen, integrierte Aktorik/Sensorik und Beratung von der DEKRA nach der Norm DIN EN 9001:2015 zertifiziert.